一氟甲烷(HFC-41, CH3F)在半導體工業中可作為氮化膜的刻蝕氣體,用于3D NAND閃存芯片的制造過程。宇極科技經潛心研發,成功量產了電子刻蝕氣一氟甲烷,打破國內單一廠商在該產品上的業務格局。作為含氟化工品生產企業,宇極擁有獨立自主知識產權HFC-41的生產及提純工藝技術,可產出4N級高純產品,亦可能根據不同客戶的要求,對雜質組分進行有針對性的定向去除。
一氟甲烷,也稱為氟甲烷、甲基氟、氟利昂41、HFC-41、R 41。英文名稱methyl fluoride、fluoromethane,ODP為0,GWP為97。CAS號593-53-3,UN號2454,分子式CH3F。常溫常壓下是無毒、可液化的可燃氣體,化學穩定性好。
高純HFC-41是一種綠色、高效的電子特氣,用于半導體及電子產品的刻蝕,對硅化物薄膜的刻蝕選擇性好,在射頻場下一氟甲烷HFC-41會溶解氟離子,進行反應性離子蝕刻。在已申請的應用專利中,涉及HFC-41使用的主要半導體制造商有美國應用材料、英特爾、臺灣聯華電子、東京威力科創、富士通株式會社、中芯國際集成電路制造、臺灣積體電路制造、三星等。另外,已申請刻蝕應用專利的HFC-41生產廠商有大金株式會社、中央硝子、杜邦、巨化等國內外大型氟化工企業。
HFC-41在有機合成和藥物合成中,可作為有機分子的選擇性氟甲基化試劑。同時,HFC-41也被用作重要農藥中間體氟溴甲烷的生產原料。